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真空炉是一种可以在高温下制备资料的设备，一般需要在载体（如石英管）内部抽出气体，以创造一个低压环境。在真空炉中，真空度是一个非常要害的指标。
一般来说，真空炉的真空度要求应该在10镑-5至10镑-6的范围内，即每立方厘米的气体分子数在这个范围内。一般情况下，真空度越高，资料的制备质量就越高，因此对某些特殊范畴（如航空、航天）的资料制备，真空度要求可到达10镑-8乃至10镑-10。
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