真空炉石墨制品的功能验证与行业标准
为确保真空炉石墨制品在真空炉中的可靠性，需经过严厉的测验认证：
物理功能测验
密度与孔隙率：采用阿基米德法测定密度，孔隙率需低于5%。
机械强度测验：三点弯曲实验（ASTM D790）评估抗弯强度，压缩强度需高于50 MPa。
高温功能测验
热重剖析（罢骋础）：评估资料在高温下的质量损失率，要求1500°颁下失重率＜0.5%。
热胀大系数测验：采用激光胀大仪测量，确保线性胀大系数。
化学兼容性测验
腐蚀实验：将石墨件浸泡于熔融铝液或酸性溶液中，检测表面腐蚀深度与微观结构变化。
气氛模拟测验：在真空炉中模拟实践工况（如H2、N2混合气氛），验证资料稳定性。
行业认证标准
国际标准：ASTM C709（石墨资料测验）、ISO 8006（高温使用规范）。
行业规范：半导体行业SEMI F47标准要求石墨件金属杂质含量≤1ppm。
